新興半導(dǎo)體
引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)半導(dǎo)體材料及高新技術(shù),持續(xù)支持國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展、滿(mǎn)足日益劇增的市場(chǎng)需求
CMP研磨墊
CMP工藝是通過(guò)表面化學(xué)作用和機(jī)械研磨的技術(shù)結(jié)合來(lái)實(shí)現(xiàn)晶圓表面微米/納米級(jí)不同材料的去除,從而達(dá)到晶圓表面納米級(jí)平坦化,使下一步的光刻工藝得以進(jìn)行。
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